Рентгенооптика

Интерферометр

Технологические и экспериментальные работы ИФМ в области рентгенооптики многослойных тонкопленочных структур ориентированы как на исследование фундаментальных свойств тонкопленочных структур в рентгеновском диапазоне, так и на создание базы рентгеновской литографии и широко признаны ведущими мировыми центрами. Институт в этой области занимает лидирующее положение.

1. Разработана технология изготовления широкой номенклатуры элементов многослойной рентгеновской оптики для диапазона длин волн 0,05-100 нм: зеркала, коллиматоры, свободновисящие структуры для фильтрации, поляризации и фазового сдвига рентгеновского излучения.
2. Разработан интерферометр с дифракционной волной сравнения и методы для изучения
   и коррекции формы поверхностей оптических элементов и волновых аберраций оптических систем сверхвысокого разрешения с субнанометровой точностью.

Объектив на λ = 13,5 нм для проекционной нанолитографии с разрешением лучше 30 нм.

Зеркала	Фильтр	Объектив